脉冲激光沉积(PLD)铜薄膜过程的模拟研究

• 作者: 刘婧 李润玲 段章山 王永仓
• 来源期刊: 空军工程大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 铜薄膜 等离子体 模拟研究
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 基础理论研究
• 页码范围: 85-88
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2265字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-3516.2006.04.025

摘要

通过对PLD技术中的等离子体的产生及传播理论的分析,对等离子体的传播规律及基片平面上粒子浓度、速度的分布进行了模拟研究;讨论了PLD技术中等离子体的输运机理,为PLD薄膜制备提供了理论参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永仓	空军工程大学理学院	19	171	4.0	12.0
5	李润玲	空军工程大学理学院	3	8	1.0	2.0
6	段章山	空军工程大学理学院	2	1	1.0	1.0
7	刘婧	河海大学计算机及信息工程学院	1	1	1.0	1.0