重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示

• 作者: 方敏 杨德仁 阙端麟 马向阳
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 直拉单晶硅 重掺硼 FPD
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 212-214
• 页数: 3页
• 分类号: TN301.2
• 字数: 2086字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2006.02.011

摘要

本文针对重掺硼直拉单晶硅片中流动图形缺陷(FPDs)的显示进行了一系列实验,得到了一种能够腐蚀出重掺硼硅片中FPDs的Secco腐蚀液配方以及清晰显示出FPDs的最佳腐蚀时间.此外,本文就FPD的显示机理进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德仁	浙江大学硅材料科学国家重点实验室	180	1513	20.0	31.0
2	马向阳	浙江大学硅材料科学国家重点实验室	60	404	10.0	17.0
3	阙端麟	浙江大学硅材料科学国家重点实验室	72	612	13.0	20.0
4	方敏	浙江大学硅材料科学国家重点实验室	13	46	4.0	6.0