射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜

• 作者: 倪佳苗 王鹏 赵修建 赵青南
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铈钛混合氧化物/掺锑氧化锡薄膜 紫外线截止/透明导电玻璃 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 页码范围: 1182-1186
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2006.10.004

摘要

制备了SnO2:Sb(6%,摩尔分数)靶材和一系列不同摩尔比的CeO2-TiO2靶材;以所制靶材用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上沉积了CeO2-TiO2单层和CeO2-TiO2/SnO2:Sb双层薄膜.用紫外-可见光谱、Raman光谱、X射线光电子能谱和X射线衍射对CeO2-TiO2薄膜进行了表征.结果表明:在CeO2/TiO2摩尔比为0.5:0.5和0.6:0.4时沉积得到的CeO2-TiO2薄膜为非晶态结构,并具有高的紫外吸收(平均值＞99%)和高的可见光透过率(平均值＞80%).在CeO2-TiO2薄膜表面存在Ce4+,Ce3+和Ti4+.对CeO2-TiO2/SnO2:Sb双层薄膜,除具有高的紫外吸收(平均值＞99%)和可见光透过率(平均值＞75%)性能外,还具有导电性,方块电阻在80～90 Ω/口之间,电阻率在(3.2～3.6)×10-3Ω·cm之间.该双层镀膜玻璃具有截止紫外线和透明导电双功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵修建	武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室	220	2735	25.0	43.0
2	倪佳苗	武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室	6	40	4.0	6.0
3	赵青南	武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室	45	423	12.0	19.0
4	王鹏	武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室	24	130	7.0	10.0