利用射频磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO∶Zr透明导电薄膜

• 作者: 刘汉法 张化福 类成新 袁玉珍 袁长坤
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO∶Zr薄膜 柔性衬底 磁控溅射 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 183-186
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2|TN304.055
• 字数: 1177字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2009.02.006

摘要

利用射频磁控溅射法首次在室温水冷柔性衬底 PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO∶Zr)透明导电薄膜.X射线衍射和扫描电子显微镜表明,ZnO∶Zr薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有平行于衬底方向的择优取向.实验获得ZnO∶Zr薄膜的最小电阻率为1.55×10-3 Ω·cm.实验制备的ZnO∶Zr薄膜具有良好的附着性能,其可见光区平均透过率超过90%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁玉珍	山东理工大学物理与光电信息技术学院	26	159	7.0	11.0
2	刘汉法	山东理工大学物理与光电信息技术学院	57	316	11.0	13.0
3	张化福	山东理工大学物理与光电信息技术学院	52	292	11.0	13.0
4	类成新	山东理工大学物理与光电信息技术学院	48	201	8.0	10.0
5	袁长坤	山东理工大学物理与光电信息技术学院	23	126	6.0	10.0