Ni/Au与N掺杂p型ZnO的欧姆接触

• 作者: 吕有明 姚斌 张吉英 张振中 李炳辉 王新 申德振 范希武 赵东旭
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: p-ZnO Ni/Au 欧姆接触 退火
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 426-428
• 页数: 3页
• 分类号: O472.4
• 字数: 1672字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2006.03.029

摘要

研究了Au,In,Ni/Au三种不同金属膜与N掺杂p型ZnO的接触特性,发现Ni/Au双层膜更适合作为其欧姆电极材料,并比较了不同气氛和不同温度退火对Ni/Au电极的影响.发现在O2中退火电极性能发生蜕变,而在N2中退火性能得到改善.指出即使在N2中退火,退火温度的选择也是至关重要的,本实验在400℃,氮气气氛下退火150 s,得到了较好的欧姆接触特性.