PLD法薄膜沉积条件对ZnO薄膜特性的影响

• 作者: 田臻锋 郭茂田 陈兴科
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 PLD 衬底温度
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 激光应用与系统
• 页码范围: 57-58
• 页数: 2页
• 分类号: TN2
• 字数: 2018字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2006.03.025

摘要

介绍了基于PLD方法制备的ZnO薄膜,在衬底温度(200-400℃)改变的情况下,分别对薄膜的表面结构和光致发光的情况做了研究,发现其相关特性并得出了制备薄膜的最佳条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭茂田	中国科学院安徽光学精密机械研究所	48	359	10.0	17.0
3	田臻锋	郑州大学物理工程学院	5	20	3.0	4.0
4	陈兴科	郑州大学物理工程学院	6	31	4.0	5.0