甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长的影响

• 作者: 曹菊琴 汪建华 满卫东 熊礼威
• 来源期刊: 应用化工
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体辅助化学气相沉积 金刚石薄膜 (100)织构
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 745-746,751
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1129字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3206.2006.10.003

摘要

以H2和CH4的混合气体为气源,用微波等离子体辅助化学气相沉积法 (MPECVD)在1 cm×1 cm Si(100)基体上沉积了金刚石薄膜.研究了不同的甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长趋势的影响.分别采用扫描电子显微镜(SEM),Raman光谱对金刚石膜的表面形貌、质量进行了分析.结果表明,当基体温度为750℃,气压为4.8×103 Pa,甲烷浓度为1.4%时,薄膜表面为(100)织构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华		7	30	4.0	5.0
2	满卫东		3	11	2.0	3.0
3	曹菊琴		1	6	1.0	1.0
4	熊礼威		3	16	3.0	3.0