脉冲激光沉积ZnO薄膜的结构和光学特性研究

• 作者: 叶志清 吕珂 柯强 闽秋应
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: ZNO薄膜 脉冲激光沉积 光致发光光谱
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 86-88
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.8

摘要

采用脉冲激光，在Si（001）衬底上生长ZnO薄膜，利用X射线衍射（XRD），原子力显微镜（AFM）和光致发光光谱（PL）等测试手段研究了不同衬底温度所生长的ZnO薄膜结构特征和光学性能。研究表明：衬底温度影响ZnO薄膜结构和光学性能。在500℃～600℃沉积范围内随着温度升高，ZnO薄膜结构和光学性能提高。