平面型RTD及其MOBILE的设计与研制

• 作者: 冯震 商跃辉 宋瑞良 张世林 梁惠来 毛陆虹 牛萍娟 王伟 王国全 胡留长 郭维廉
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: RTD 平面型RTD 离子注入 MOBILE
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2167-2172
• 页数: 6页
• 分类号: TN313.2
• 字数: 3344字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.12.020

摘要

鉴于已报道的平面共振遂穿二极管(PRTD)存在的缺点,文中提出了一种新的平面RTD器件结构.以n+ GaAs代替半绝缘GaAs衬底,利用硼离子注入产生的非晶化作为RTD器件的电隔离,成功设计研制平面型RTD和由其构成的单-双稳转换逻辑单元,此种结构可适用于以输出端作为公用端的所有电路.