衬底温度对PLD方法生长Si(111)基ZnO薄膜结晶质量和发光特性的影响

• 作者: 何建廷 庄惠照 张晓凯 田德恒 胡丽君 薛守斌 薛成山
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: PLD ZnO 薄膜 六方纤锌矿结构
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 1105-1108
• 页数: 4页
• 分类号: TQ1388
• 字数: 3176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2006.07.022

摘要

在不同衬底温度下用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)衬底上生长ZnO薄膜.通过对薄膜进行的X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收(FTIR)、光致发光谱(PL)、透射电子显微镜(TEM)和选区电子衍射(SAED)的测量,研究了衬底温度对PLD方法制备的ZnO薄膜的结晶质量、发光性质以及微观结构的影响.发现在600℃的衬底温度下可以得到结晶质量最佳的ZnO薄膜.随着晶粒直径的减小,出现量子限制效应,在红外吸收和光致发光中的峰位均产生了蓝移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄惠照		72	276	9.0	11.0
2	薛成山		117	476	11.0	13.0
3	何建廷		10	61	5.0	7.0
4	张晓凯		45	256	9.0	13.0
5	胡丽君		6	24	2.0	4.0
6	薛守斌		5	22	2.0	4.0
7	田德恒		9	42	4.0	6.0