键合方法制备长波长面发射的实验和分析

• 作者: 何国荣 吴旭明 曹玉莲 杨国华 渠红伟 王青 郑婉华 陈良惠
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 键合 面发射激光器 光致发光谱
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 444-447
• 页数: 4页
• 分类号: O485
• 字数: 1557字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.03.024

摘要

通过疏水键合方法实现了InGaAsP/InP有源区与GaAs/AlAs DBR的单面和双面键合,并通过SEM,I-V曲线和反射谱、光致发光谱等手段研究了GaAs/InP键合界面的机械、光学和电学性质,良好的界面性质为使用键合技术制备长波长面发射激光器提供了可能性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈良惠	中国科学院半导体研究所	59	338	11.0	15.0
2	王青	中国科学院半导体研究所	83	1420	20.0	35.0
3	曹玉莲	中国科学院半导体研究所	15	78	5.0	8.0
4	吴旭明	中国科学院半导体研究所	9	50	3.0	6.0
5	何国荣	中国科学院半导体研究所	10	50	3.0	6.0
6	渠红伟	中国科学院半导体研究所	12	34	3.0	5.0
7	郑婉华	中国科学院半导体研究所	23	102	7.0	9.0
8	杨国华	中国科学院半导体研究所	11	72	3.0	8.0