新型电阻(金属膜)专用镀膜机的研制

• 作者: 付洪川 王春东 董丽娜 闫正宇 马铁明
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 金属膜 电阻 专用镀膜机
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 50-51
• 页数: 2页
• 分类号: TB43
• 字数: 1424字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.04.012

摘要

新型磁控溅射电阻镀膜机是在同一台设备上能制作出中、低和高阻值金属膜电阻的专用设备.文章主要是对它的结构及设计核心部分进行了论述,并将研制中的一些数据和关键部分予以阐明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付洪川		2	0	0.0	0.0
2	马铁明		1	0	0.0	0.0
3	闫正宇		1	0	0.0	0.0
4	董丽娜		1	0	0.0	0.0