Al掺杂原子分数及退火温度对ZnO薄膜光学特性的影响

• 作者: 向霞 徐自强 祖小涛 薛书文 邓宏 陈美艳
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 光致发光 溶胶凝胶 退火 吸收光谱 透射光谱
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 142-146
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.121
• 字数: 3271字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶凝胶法在(0001)Al2O3衬底上制备了不同掺杂原子分数的ZnO:Al薄膜,在Ar气氛中进行了600～950 ℃不同温度的退火处理,研究了掺杂原子分数和退火温度对薄膜光致发光、光吸收和透射的影响.结果显示,薄膜的紫外峰强度随掺杂原子分数和退火温度的提高而增强,与缺陷相关的绿光强度却随着掺杂原子分数和退火温度的提高而降低;薄膜光学带隙随掺杂原子分数的提高从3.21 eV增大到3.25 eV;光吸收在可见光区随着退火温度的升高而增大,在紫外区却随着退火温度的升高而减小,透射与吸收的变化规律相反;薄膜吸收边随退火温度的升高出现轻微的红移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祖小涛	电子科技大学应用物理系	111	627	12.0	17.0
2	邓宏	电子科技大学微电子与固体电子学院	72	653	14.0	22.0
3	徐自强	电子科技大学微电子与固体电子学院	31	155	7.0	11.0
4	向霞	电子科技大学应用物理系	27	116	6.0	9.0
5	薛书文	湛江师范学院物理系	15	58	4.0	6.0
6	陈美艳	电子科技大学应用物理系	1	4	1.0	1.0