机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究

• 作者: 席宁 李文荣 王越超 田孝军 董再励
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 驱动器驱动 探针定位 复现扫描轨迹 运动学耦合误差 悬臂变形
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1223-1228
• 页数: 6页
• 分类号: TH742|TP24
• 字数: 4345字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2007.07.013

摘要

对基于AFM的机器人化纳米操作系统而言,一个关键问题是如何实现纳米操作时探针的高精度驱动与定位.对此,本文基于对压电陶瓷驱动器的迟滞/非线性特性及现有驱动方法的详细分析,提出"基于复现扫描轨迹的驱动方法"来对操作时的驱动器进行驱动;另外,还对管式驱动器弯曲运动所产生的运动学耦合误差、探针悬臂变形所引起的针尖偏移误差进行了定量分析与补偿.采用上述驱动方法及进行误差补偿后,可以大大提高探针的定位精度,从而使纳米操作与装配得以高精度进行.纳米刻画实验验证了该新型驱动方法及误差补偿的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王越超	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室	153	3040	30.0	48.0
2	董再励	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室	73	1005	17.0	29.0
3	田孝军	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室	10	64	4.0	8.0
4	席宁	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室	33	191	9.0	13.0
5	李文荣	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室	3	35	3.0	3.0