非晶态As2S8半导体薄膜波导的热处理效应

• 作者: 刘小青 杜丽萍 浜中广见 矶守 邹林儿 陈抱雪
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硫系非晶态半导体 As2S8薄膜波导 热处理效应 光传输
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1307-1311
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.8
• 字数: 3623字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.08.027

摘要

研究了非晶态As2S8半导体薄膜在热作用下的结构变化效应.采用棱镜耦合技术、喇曼光谱测试技术,确认了As2S8薄膜经热处理后,薄膜密度增高和折射率增大的现象.实验表明,淀积态非晶As2S8半导体薄膜经紫外光饱和照射后,再经退火处理,当光折变在退火温度不低于160℃时,出现不完全可逆现象,可逆程度跟退火温度有关.实验显示,退火态非晶As2S8半导体薄膜在玻璃转化温度130℃时退火处理,光折变存在完全可逆现象.光传输实验显示,热处理后的非晶态As2S8半导体薄膜波导,其传输损耗减小了约4dB/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈抱雪	上海理工大学光学与电子信息工程学院	94	435	11.0	16.0
2	刘小青	南昌大学物理系	10	31	3.0	5.0
3	杜丽萍	上海理工大学光学与电子信息工程学院	3	10	2.0	3.0
4	邹林儿	南昌大学物理系	13	26	3.0	4.0