退火及超声处理对ZnO薄膜结构和发光特性的影响

• 作者: 刘云龙 张一清 张栋 徐东然 王长征 肖效光 高学喜
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 退火处理 超声处理 光致发光 对向靶 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 1390-1394
• 页数: 5页
• 分类号: O472.3|O484.4
• 字数: 3036字
• 语种: 中文

摘要

利用对向靶射频磁控溅射系统在Si(100)衬底上制备了ZnO薄膜,并对其进行了退火和超声处理.采用XRD,AFM和光致发光谱对其结构、表面形貌和性能进行了分析.结果表明:沉积态ZnO薄膜(002)择优取向稍差,尺寸较小,表面粗糙度较大.随退火温度的升高,颗粒粒径增大,样品的取向性和结晶度都明显变好,应力状态由压应力转变为张应力,粗糙度降低.超声处理缓解了薄膜中的张应力,晶粒尺寸更趋增大;用波长为280 nm的激发光激发薄膜时,沉积态薄膜无发光峰存在;随着退火温度升高,出现了一个378 nm的紫外峰和一个398 nm的紫峰;紫外峰峰值强度随退火温度升高不断增强,而紫峰的峰位随退火温度升高基本不发生变化,峰值强度增强;700 ℃退火后的薄膜经超声处理后,发光谱中出现了峰值波长为519 nm的绿色发光带.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘云龙	聊城大学物理科学与信息工程学院	37	88	6.0	7.0
2	高学喜	聊城大学物理科学与信息工程学院	40	84	6.0	6.0
3	王长征	聊城大学物理科学与信息工程学院	40	98	5.0	7.0
4	张栋	聊城大学物理科学与信息工程学院	15	53	4.0	6.0
5	徐东然	聊城大学物理科学与信息工程学院	3	16	2.0	3.0
6	肖效光	聊城大学物理科学与信息工程学院	12	115	4.0	10.0
7	张一清	聊城大学物理科学与信息工程学院	5	22	3.0	4.0