高能量密度微电磁驱动器的制作方法

• 作者: 刘永顺 吴一辉 张平 张涛 梁翠萍
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微型电磁驱动器 高能量密度 多匝双层平面微线圈 厚NiFe合金镀层
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1111-1116
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 1167字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.06.018

摘要

提出了一种非闭合磁路型高能量密度微电磁驱动器的制作方法,即利用MEMS工艺在单位面积硅基体上制作多匝、高深宽比.的平面线圈和高厚度的磁芯.通过先面电铸再线电铸的方式,以及动态控制电铸电流密度的方法进行平面线圈的制作;通过改变衬底表面粗糙度和种子层厚度的方法,改善合金镀层与衬底的粘附性能.可以在单位面积的硅片上,制作出厚度更大的磁性合金镀层.初步实验结果表明:该微型电磁驱动器在相同的输入功率下,比同类其他微电磁驱动器,能产生更大的电磁驱动力,具有更高的能量密度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	180	2022	23.0	35.0
2	张涛	天津工业大学机械电子学院	24	107	7.0	10.0
3	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	126	1121	18.0	27.0
4	刘永顺	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	13	65	4.0	7.0
5	梁翠萍	天津工业大学机械电子学院	3	27	3.0	3.0