微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的研究进展

• 作者: 汪建华 满卫东 黄建良
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 化学
• 关键词: 金刚石膜 微波 化学气相沉积 装置
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|O643.131
• 字数: 3862字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2008.01.001

摘要

综述了各种微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜装置的结构及工作原理,并对它们各自的优缺点做了比较分析;基于MPCVD金刚石膜装置的发展现状.构想设计了一种新型高效的大功率大面积快速沉积CVD金刚石膜装置,并对其可行性做了初步分析研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	满卫东	武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室	45	370	11.0	16.0
6	黄建良	武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室	2	41	2.0	2.0