基于直线型超声电机的两自由度精密定位平台

• 作者: 张含蕾 时运来 李玉宝 赵淳生 金家楣
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报(英文版)
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波 超声电机 定位平台
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 161-168
• 页数: 8页
• 分类号: TM359.9
• 字数: 346字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-1120.2008.03.001

摘要

搭建了一种新型两自由度精密定位平台,主要由直线型超声电机、直线导轨、工作台三部分组成.采用了直线型超声电机,利用非统一截面杆在正交方向上的两个四阶弯振模态作为工作模态,其最高速度为190 mm/s,最大推力为19 N.该平台具有响应速度快,无后冲,高精度,断电自锁和工作行程大的特点.在位置检测装置具有1μm分辨率的情况下,其闭环最高定位精度小于2μm,且开环分辨率可达到1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金家楣	南京航空航天大学航空宇航学院	31	236	10.0	13.0
2	赵淳生	南京航空航天大学航空宇航学院	269	4525	31.0	51.0
3	时运来	南京航空航天大学航空宇航学院	34	312	9.0	17.0
4	李玉宝	南京航空航天大学航空宇航学院	6	193	6.0	6.0
5	张含蕾	南京航空航天大学航空宇航学院	2	98	2.0	2.0