真空蒸发镀膜设备性能的改进

• 作者: 陈月增 陈素君
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空蒸发镀膜设备 真空性能 装载量 自动控制 多功能
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 真空获得设备与系统
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TB75
• 字数: 4647字
• 语种: 中文

摘要

为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适就应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜审的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次.并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈素君		6	24	2.0	4.0
2	陈月增		2	2	1.0	1.0