椭偏测厚仪确定薄膜真实厚度的分析

• 作者: 张俊莲 朱映彬 黄佐华
• 来源期刊: 大学物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭偏测厚仪 真实厚度 最大可测周期数 图形表示
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 大学生园地
• 页码范围: 56-58
• 页数: 3页
• 分类号: O436.1
• 字数: 1747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0712.2008.01.016

摘要

用椭偏测厚仪可以测量薄膜一个周期内的厚度和折射率.本文从理论上分析了采用变入射角确定薄膜的真实厚度时,存在最大可测厚度周期数和最大可测薄膜真实厚度,同时用图形形象描述了周期数、厚度周期、一个周期内的厚度、真实厚度之间的关系及它们与入射角的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄佐华	华南师范大学物理与电信工程学院	63	586	13.0	22.0
2	张俊莲	华南师范大学物理与电信工程学院	2	7	1.0	2.0
3	朱映彬	华南师范大学物理与电信工程学院	2	10	2.0	2.0