钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
基础科学期刊
\
物理学期刊
\
液晶与显示期刊
\
薄膜晶体管阵列四次光刻工艺中光刻胶灰化工艺的研究
薄膜晶体管阵列四次光刻工艺中光刻胶灰化工艺的研究
作者:
刘翔
崔祥彦
王海军
王章涛
邓振波
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
薄膜晶体管
四次光刻
光刻胶
灰化
摘要:
光刻胶灰化是薄膜晶体管四次光刻工艺的核心工艺之一.初步研究了用纯O2对光刻胶进行灰化的工艺,影响光刻胶灰化的主要因素有功率、气压和灰化气体的流量,经过一组正交实验,得到了功率、气压、灰化气体的流量对光刻胶的灰化速率和均匀度的影响趋势.结果表明,功率是影响灰化速率的主要因素.通过不断地优化光刻胶的灰化条件,最终得到了理想的灰化条件,即功率为10500W,气压为26.7 Pa,O2的流量为2000mL/min,灰化时间为91s.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用
光刻胶
专用树脂
生产工艺
应用
半导体薄膜晶体管的节能设计方法研究
半导体
薄膜晶体管
节能
电源回路
光刻胶级214-磺酰氯的生产方法及应用
光刻胶
214-磺酰氯
生产方法
应用
氧化亚锡薄膜晶体管的研究进展
p型材料
氧化亚锡
薄膜晶体管
微观调控机制
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
薄膜晶体管阵列四次光刻工艺中光刻胶灰化工艺的研究
来源期刊
液晶与显示
学科
工学
关键词
薄膜晶体管
四次光刻
光刻胶
灰化
年,卷(期)
2008,(2)
所属期刊栏目
研究报告
研究方向
页码范围
183-187
页数
5页
分类号
TN321.5
字数
1866字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1007-2780.2008.02.012
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘翔
3
13
3.0
3.0
5
王章涛
5
25
3.0
5.0
6
崔祥彦
3
20
3.0
3.0
7
邓振波
4
21
3.0
4.0
8
王海军
1
4
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(1)
共引文献
(45)
参考文献
(2)
节点文献
引证文献
(4)
同被引文献
(12)
二级引证文献
(14)
1999(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2003(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
2008(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2011(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2012(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
2013(6)
引证文献(1)
二级引证文献(5)
2015(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2016(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2017(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2019(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
研究主题发展历程
节点文献
薄膜晶体管
四次光刻
光刻胶
灰化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
液晶与显示
主办单位:
中科院长春光学精密机械与物理研究所
中国光学光电子行业协会液晶分会
中国物理学会液晶分会
出版周期:
月刊
ISSN:
1007-2780
CN:
22-1259/O4
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-203
创刊时间:
1986
语种:
chi
出版文献量(篇)
3141
总下载数(次)
7
总被引数(次)
21631
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
期刊文献
相关文献
1.
一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用
2.
半导体薄膜晶体管的节能设计方法研究
3.
光刻胶级214-磺酰氯的生产方法及应用
4.
氧化亚锡薄膜晶体管的研究进展
5.
层板喷注器光刻工艺技术研究
6.
多晶硅薄膜晶体管kink效应的建模
7.
金属氧化物薄膜晶体管最新研究进展
8.
多晶硅薄膜晶体管泄漏区带间隧穿电流的建模
9.
Shipley i7350xp光刻胶用于0.5μm孔光刻工艺的研究
10.
紫外压印光刻中阻蚀胶残膜刻蚀工艺
11.
软紫外光压印光刻的模具制造研究
12.
低温增强型非晶铟镓锌氧薄膜晶体管特性研究
13.
压印光刻对准中阻蚀胶层的设计及优化
14.
各膜层对光刻胶灰化的影响
15.
步进闪光压印光刻模具制作工艺研究
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
力学
化学
地球物理学
地质学
基础科学综合
大学学报
天文学
天文学、地球科学
数学
气象学
海洋学
物理学
生物学
生物科学
自然地理学和测绘学
自然科学总论
自然科学理论与方法
资源科学
非线性科学与系统科学
液晶与显示2022
液晶与显示2021
液晶与显示2020
液晶与显示2019
液晶与显示2018
液晶与显示2017
液晶与显示2016
液晶与显示2015
液晶与显示2014
液晶与显示2013
液晶与显示2012
液晶与显示2011
液晶与显示2010
液晶与显示2009
液晶与显示2008
液晶与显示2007
液晶与显示2006
液晶与显示2005
液晶与显示2004
液晶与显示2003
液晶与显示2002
液晶与显示2001
液晶与显示2000
液晶与显示1999
液晶与显示2008年第6期
液晶与显示2008年第5期
液晶与显示2008年第4期
液晶与显示2008年第3期
液晶与显示2008年第2期
液晶与显示2008年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号