空间用TiOx光学薄膜的生长机理

• 作者: 孙璐
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学薄膜 空间太阳电池 增透膜 短路电流
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 873-874
• 页数: 2页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 1879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2008.12.017

摘要

论述了TiOx膜的生长杌理,详细研究了在电子束加热真空蒸镀膜的过程,蒸汽分压,衬底温度对膜性能的影晌.讨论了通过高温高真空蒸镀的方法制备出双层增透膜TiOx/SiOy、TiOx/YOy和TiOx/AlOy,通过应用双层增透膜,太阳电池的短路电流提高36%～48%(硅太阳电池的短路电流提高近48%,砷化镓太阳电池提高近36%).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙璐	中国电子科技集团公司第十八研究所	5	3	1.0	1.0