基于梳齿间距偏差的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应模型

• 作者: 于奇 周伟 戴强 杨谟华 饶青
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 梳齿间距 冲击与阶跃信号响应物理模型 可靠工作范围
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1391-1395
• 页数: 5页
• 分类号: TN401
• 字数: 3237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.07.034

摘要

源于概率统计理论,针对梳齿电容的微细加工偏差,给出了当各梳齿间距偏差在一定范围内独立且均匀分布时.单边电容和双边电容驱动的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应物理模型.经过有限元仿真和Monte Carlo模拟验证,结果表明理论模型与仿真值之差小于10%.模型指出,当梳齿间距偏差由0变化到20%,加速度计在受到冲击与阶跃加速度信号作用时,其可靠工作范围将比无偏差理想情况下降10%～15%.该模型可望应用于实际有加工偏差的微加速度计可靠工作范围预先评估与设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于奇	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	50	252	8.0	13.0
2	杨谟华	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	58	278	8.0	11.0
3	戴强	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	6	26	3.0	5.0
4	周伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	18	50	5.0	6.0
5	饶青	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	16	2.0	3.0