nm量级薄膜厚度测量

• 作者: 崔明启 赵屹东 郑雷 陈凯
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜厚度 反射率拟合 Bragg衍射 Fourier变换
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 234-238
• 页数: 5页
• 分类号: O484.32
• 字数: 3867字
• 语种: 中文

摘要

为了获得nm量级薄膜样品的精确厚度,采用软X射线反射率拟合方法、Bragg衍射方程方法和反射率Fourier变换方法分析了常规Cu靶X射线衍射数据及软X射线反射率数据.对厚度测量结果进行比较,3种方法得到的结果一致性很好.其中,软X射线反射率拟合和Bragg衍射方程方法精度很高,优于1 nm,Fourier变换方法精度稍低.对于单层W薄膜样品,3种方法获得厚度分别为(15.21±0.60) nm,(14.0±1.0) nm和(13.8±1.5) nm;对于双层W/C薄膜样品,W层厚度分别为(12.64±0.60) nm,(13.0±1.0) nm和(13.9±1.5) nm.这3种方法测量结果精度主要取决于反射率数据测量精度,而Fourier变换方法精度随着能量升高而提高,随着掠入射角范围增大而提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔明启	中国科学院高能物理研究所	33	149	7.0	11.0
2	郑雷	中国科学院高能物理研究所	22	58	4.0	6.0
3	赵屹东	中国科学院高能物理研究所	39	144	7.0	9.0
4	陈凯	中国科学院高能物理研究所	35	159	8.0	10.0