磁控溅射合成Ag/类PEO纳米功能性薄膜的研究

• 作者: 周美丽 陈强
• 来源期刊: 包装工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 Ag/PEO-like 纳米薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 包装科学与工程
• 页码范围: 11-13
• 页数: 3页
• 分类号: TB333|TB487
• 字数: 2285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3563.2008.12.004

摘要

采用反应磁控溅射方法,用Ag作为溅射靶,用乙二醇二甲基醚挥发性单体通过等离子体化学气相聚合制备含Ag的PEO杀菌薄膜;通过FTIR光谱、XPS能谱、UV可见光谱等确定薄膜中的各种成分以及含量,并研究工艺条件对薄膜结构成分的影响;XRD衍射分析薄膜中所掺杂银的晶面结构和Ag的颗粒度大小;AFM分析了表面的形貌和结构.实验发现等离子体的宏观参量如源气体流量比、工作气压、溅射功率等对所聚合的薄膜结构成分影响较大;Ag在薄膜中以原子形态存在而且以(111)晶面为主;Ag(111)对杀菌应用起主要的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院印刷包装材料与技术北京币重点实验室等离子体物理以及材料研究室	125	542	10.0	17.0
2	周美丽		8	24	3.0	4.0