离子轰击辅助电子束蒸发制备含有纳米石墨结构的非晶碳膜

• 作者: 唐多昌 李晓红 袁春华
• 来源期刊: 西南科技大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子轰击 纳米石墨 非晶碳膜
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 9-12,28
• 页数: 5页
• 分类号: O484|Q613.71
• 字数: 2100字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8755.2009.04.003

摘要

采用离子轰击辅助电子束蒸发技术制备了含有纳米石墨结构的碳膜.利用XRD、Raman和AFM等方法分析了碳膜的厚度、结构、相成分和形貌.结果表明制备的碳膜是一种具有纳米石墨结构的非晶碳膜.随着离子轰击能量的增大,碳膜的厚度随之减小,纳米石墨结构sp2团簇的尺寸变大,碳膜表面粗糙度增大,并找到了最佳的离子轰击能量.通过对Raman光谱分析发现,在最佳离子轰击能量下形成的纳米石墨结构sp2团簇尺寸大小约为2 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓红	西南科技大学理学院	15	101	6.0	10.0
2	袁春华	西南科技大学理学院	7	82	4.0	7.0
3	唐多昌	西南科技大学理学院	6	81	4.0	6.0