Nd掺杂对ZnSe薄膜微结构的影响

• 作者: 何志刚 吴蓉 安晓晖 李忠贤 李蓉萍
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnSe薄膜 微结构 真空蒸发 掺杂
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2887字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5624.2009.06.005

摘要

利用真空蒸发的方法制备ZnSe多晶薄膜,并采用双源法对薄膜进行了稀土元素Nd的掺杂.对薄膜进行了XRD测试,并计算了薄膜的晶粒尺寸、晶格常数以及内应力.结果表明,当原子配比Zn:Se=0.9:1时可制备较理想的Znse多晶薄膜,稀土Nd掺杂并未改变样品的物相结构,掺杂使得薄膜的晶粒尺寸减小,晶胞体积增加,内应力和晶格常数改变.实验还发现,适度的轻掺杂Nd可增加ZnSe薄膜的光透射性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李蓉萍	内蒙古大学物理科学与技术学院	28	132	7.0	9.0
2	何志刚	内蒙古大学物理科学与技术学院	4	20	3.0	4.0
3	安晓晖	内蒙古大学物理科学与技术学院	5	29	3.0	5.0
4	吴蓉	内蒙古大学物理科学与技术学院	5	15	3.0	3.0
5	李忠贤	内蒙古大学物理科学与技术学院	7	33	3.0	5.0