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玻璃衬底和Si衬底制备的Zn0.96Nd0.04O薄膜的结构研究
玻璃衬底和Si衬底制备的Zn0.96Nd0.04O薄膜的结构研究
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摘要：
通过射频磁控溅射技术在玻璃衬底和Si（111）村底上制备了Zn0.96Nd0.04O薄膜。XRD分析表明，Zn0.96Nd0.04O薄膜是具有C轴择优生长的纳米多晶薄膜，Nd以替位原子的形式存在于ZnO晶格，Nd掺杂没有改变ZnO晶格结构。从AFM图中看出，薄膜表面形貌较为粗糙，Si衬底薄膜的晶粒具有规律且晶粒尺寸大于玻璃衬底。
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ZNO薄膜
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期刊影响力
中国材料科技与设备
主办单位：
北京沃玉科技发展中心
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京市回龙观文化大社区流星花园2区9-3
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语种：
出版文献量（篇）
2138
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