机器视觉检测系统在半导体工业切筋成型机上的应用

• 作者: 李庆生
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 机器视觉检测系统 半导体工业 切筋成型机
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 本期专题(测试与设备)
• 页码范围: 8-11,21
• 页数: 5页
• 分类号: TN307
• 字数: 3226字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.06.003

摘要

介绍了机器视觉检测系统在半导体工业后道关键设备(切筋成型机)上的应用,对产品的自动视觉检测功能.包含检测的基本原理、使用方法和镜头、照明等关键要素的选择,以及视觉系统对产品的常见检测等.