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摘要:
利用射频等离子体辅助分子束外延(RF-MBE)技术在蓝宝石衬底上外延了铝铟镓氮(AlInGaN)四元合金,通过改变Al源的束流生长了不同组分的AlInGaN四元合金,材料生长过程中采用反射式高能电子衍射(RHEED)进行了在位检测. 通过扫描电镜(SEM)、卢瑟福背散射(RBS)、X射线衍射(XRD)和阴极荧光(CL)等测试手段表征了AlInGaN四元合金的结构和光学特性. 研究结果表明:在GaN层上生长AlInGaN外延层时,外延膜呈二维生长;当铝炉的温度为920℃时,外延AlInGaN四元合金外延薄膜中Al/In接近4.7,X射线衍射摇摆曲线的半高宽最小为5arcmin,四元合金的阴极荧光发光峰的半高宽为25nm,AlInGaN四元合金外延层具有较好的晶体质量和光学质量.
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组分控制
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 射频分子束外延生长AlInGaN四元合金
来源期刊 无机材料学报 学科 工学
关键词 铝铟镓氮 分子束外延 结构特性 光学特性
年,卷(期) 2009,(3) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 559-562
页数 4页 分类号 TN304
字数 2213字 语种 中文
DOI 10.3724/SP.J.1077.2009.00559
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王晓亮 中国科学院半导体研究所 38 212 9.0 12.0
2 王保柱 河北科技大学信息科学与技术学院 12 31 3.0 5.0
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研究主题发展历程
节点文献
铝铟镓氮
分子束外延
结构特性
光学特性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
无机材料学报
月刊
1000-324X
31-1363/TQ
16开
上海市定西路1295号
4-504
1986
chi
出版文献量(篇)
4760
总下载数(次)
8
总被引数(次)
61689
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导