直流磁控溅射法制备掺钛氧化锌透明导电薄膜

• 作者: 刘汉法 张化福 袁玉珍 袁长坤
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO:Ti 透明导电薄膜 溅射功率 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2009,（22）
• 所属期刊栏目: 加工工艺
• 页码范围: 87-89
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2|TN304.055
• 字数: 2771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2009.22.025

摘要

采用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出高质量的掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜,研究了溅射功率对ZnO:Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响,结果表明,溅射功率对ZnO:Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响.XRD表明,ZnO:Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.当溅射功率为130W时,实验制备的ZnO:Ti薄膜的电阻率具有最小值9.67×10~(-5)Ω·cm.实验制备的ZnO:Ti薄膜具有良好的附着性能,可见光区平均透过率超过91%.ZnO:Ti薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁玉珍	山东理工大学理学院	26	159	7.0	11.0
2	刘汉法	山东理工大学理学院	57	316	11.0	13.0
3	张化福	山东理工大学理学院	52	292	11.0	13.0
4	袁长坤	山东理工大学理学院	23	126	6.0	10.0