磁控溅射法制备铝掺杂氧化锌薄膜研究进展

• 作者: 刘亚强 李朋 陈青清
• 来源期刊: 信阳师范学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: AZO薄膜 磁控溅射法 光电性能
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 综述·评论·争鸣
• 页码范围: 667-671
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.05
• 字数: 2865字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0972.2017.04.033

摘要

铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜是一种n型半导体光学透明薄膜,具有优异的光电转换特性.综述了磁控溅射法制备AZO薄膜的研究现状.介绍了衬底温度、溅射功率、氧分压、溅射角度、衬底类型和退火温度等工艺参数对AZO薄膜的微结构、表面形貌和光电性能的影响.展望了其今后的研究方向和应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李朋	商丘师范学院物理与电气信息学院	9	23	2.0	4.0
2	刘亚强	商丘师范学院物理与电气信息学院	6	19	3.0	4.0
6	陈青清	商丘师范学院物理与电气信息学院	1	5	1.0	1.0