中频磁控溅射法制备氧化锌钇薄膜及其性能研究

• 作者: 孙若男 庄大明 张弓
• 来源期刊: 中山大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: ZYO 磁控溅射 透明导电薄膜 透过率 电阻率
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 所属期刊栏目: 能源与环境材料国际研讨会专辑
• 页码范围: 39-40
• 页数: 2页
• 分类号: TM615
• 字数: 279字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0529-6579.2007.z1.018

摘要

利用中频磁控溅射法,溅射氧化锌钇(ZYO)陶瓷靶材,在玻璃基底上制备ZYO透明导电薄膜.研究了氧化钇掺杂量和基底温度对薄膜的结构、电学性能和光学性能的影响.结果表明,ZYO薄膜为钎锌矿型结构,呈c轴择优取向,平均可见光透过率(400～800nm)达到80%以上.制备的ZYO薄膜具有的最低电阻率为1.18×10-3Ωcm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张弓	清华大学机械工程系	81	914	16.0	27.0
2	庄大明	清华大学机械工程系	104	1374	22.0	32.0
3	孙若男	清华大学机械工程系	2	4	1.0	2.0