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衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响
衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响
作者:
付刚
刘小村
张宁玉
张玉华
李爽
霍庆松
韩利新
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
ZnO薄膜
磁控溅射
原子力显微镜
表面形貌
摘要:
在压强为0.5Pa和0.7Pa的情况下,采用磁控溅射法分别在Si及石英玻璃衬底上生长ZnO薄膜.利用原子力显微镜对ZnO薄膜的表面形貌进行观察,研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响.研究表明:在Si衬底上生长的ZnO薄膜,压强为0.7Pa时比压强为0.5Pa时表面粗糙度要大;在相同溅射气压(0.7Pa)下,Si衬底上得到的ZnO薄膜质量明显优于石英玻璃衬底上的.
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综述
溶胶-凝胶法与射频磁控溅射法制备ZnO薄膜及其表征对比
ZnO薄膜
溶胶-凝胶
磁控溅射
退火工艺对磁控溅射LiCoO2薄膜形貌与力学性能的影响
LiCoO2薄膜
表面形貌
硬度
杨氏模量
摩擦因数
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
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期刊文献
内容分析
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关键词热度
相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响
来源期刊
山东建筑大学学报
学科
物理学
关键词
ZnO薄膜
磁控溅射
原子力显微镜
表面形貌
年,卷(期)
2010,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
382-385
页数
分类号
O484.1
字数
1709字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1673-7644.2010.04.007
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张宁玉
山东建筑大学理学院
29
156
7.0
11.0
2
付刚
山东建筑大学理学院
12
40
3.0
5.0
3
韩利新
山东建筑大学理学院
2
13
2.0
2.0
4
霍庆松
山东建筑大学理学院
2
13
2.0
2.0
5
李爽
山东建筑大学理学院
3
29
3.0
3.0
6
张玉华
山东建筑大学理学院
10
35
4.0
5.0
7
刘小村
山东建筑大学理学院
3
23
2.0
3.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
ZnO薄膜
磁控溅射
原子力显微镜
表面形貌
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
山东建筑大学学报
主办单位:
山东建筑大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1673-7644
CN:
37-1449/TU
开本:
大16开
出版地:
山东省济南市临港开发区凤鸣路
邮发代号:
创刊时间:
1986
语种:
chi
出版文献量(篇)
2419
总下载数(次)
5
总被引数(次)
17428
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山东建筑大学学报2010年第2期
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