衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响

• 作者: 付刚 刘小村 张宁玉 张玉华 李爽 霍庆松 韩利新
• 来源期刊: 山东建筑大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 磁控溅射 原子力显微镜 表面形貌
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 382-385
• 分类号: O484.1
• 字数: 1709字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-7644.2010.04.007

摘要

在压强为0.5Pa和0.7Pa的情况下,采用磁控溅射法分别在Si及石英玻璃衬底上生长ZnO薄膜.利用原子力显微镜对ZnO薄膜的表面形貌进行观察,研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响.研究表明:在Si衬底上生长的ZnO薄膜,压强为0.7Pa时比压强为0.5Pa时表面粗糙度要大;在相同溅射气压(0.7Pa)下,Si衬底上得到的ZnO薄膜质量明显优于石英玻璃衬底上的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宁玉	山东建筑大学理学院	29	156	7.0	11.0
2	付刚	山东建筑大学理学院	12	40	3.0	5.0
3	韩利新	山东建筑大学理学院	2	13	2.0	2.0
4	霍庆松	山东建筑大学理学院	2	13	2.0	2.0
5	李爽	山东建筑大学理学院	3	29	3.0	3.0
6	张玉华	山东建筑大学理学院	10	35	4.0	5.0
7	刘小村	山东建筑大学理学院	3	23	2.0	3.0