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摘要:
在压强为0.5Pa和0.7Pa的情况下,采用磁控溅射法分别在Si及石英玻璃衬底上生长ZnO薄膜.利用原子力显微镜对ZnO薄膜的表面形貌进行观察,研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响.研究表明:在Si衬底上生长的ZnO薄膜,压强为0.7Pa时比压强为0.5Pa时表面粗糙度要大;在相同溅射气压(0.7Pa)下,Si衬底上得到的ZnO薄膜质量明显优于石英玻璃衬底上的.
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文献信息
篇名 衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响
来源期刊 山东建筑大学学报 学科 物理学
关键词 ZnO薄膜 磁控溅射 原子力显微镜 表面形貌
年,卷(期) 2010,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 382-385
页数 分类号 O484.1
字数 1709字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1673-7644.2010.04.007
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张宁玉 山东建筑大学理学院 29 156 7.0 11.0
2 付刚 山东建筑大学理学院 12 40 3.0 5.0
3 韩利新 山东建筑大学理学院 2 13 2.0 2.0
4 霍庆松 山东建筑大学理学院 2 13 2.0 2.0
5 李爽 山东建筑大学理学院 3 29 3.0 3.0
6 张玉华 山东建筑大学理学院 10 35 4.0 5.0
7 刘小村 山东建筑大学理学院 3 23 2.0 3.0
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研究主题发展历程
节点文献
ZnO薄膜
磁控溅射
原子力显微镜
表面形貌
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
山东建筑大学学报
双月刊
1673-7644
37-1449/TU
大16开
山东省济南市临港开发区凤鸣路
1986
chi
出版文献量(篇)
2419
总下载数(次)
5
总被引数(次)
17428
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