一种高产率的先进封装投影光刻机

• 作者: 周畅 贺荣明
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 产率 步进时间 曝光能量
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 1-4,43
• 分类号: TN305
• 字数: 4137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.10.001

摘要

从设备设计者及使用者的角度,详细描述了影响先进封装步进投影光刻机生产效率的主要因素,并基于灵敏度分析给出了产率优化方法,综合曝光性能分析给出了产率平衡策略.实测数据表明,SS B500系列光刻机达到了良好的产率性能,最高产率超过90片/h,适应厚胶大剂量曝光要求,能够满足后道FAB的生产线要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周畅		8	27	4.0	4.0
2	贺荣明		2	7	2.0	2.0