非晶SiOxNy薄膜的发光特性研究

• 作者: 刘义保 徐小华 李群 游泳
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶 薄膜 光致发光
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 制造技术/工艺装备
• 页码范围: 63-66
• 分类号: TN304|O55
• 字数: 2193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2010.05.018

摘要

采用双离子束溅射沉积法制备SiOxNy复合非晶薄膜,傅里叶变换红外光谱(FTIR)及X射线衍射谱(XPS)测试表明,薄膜成分由Si、O、N元素组成,在室温下可观察到样品有波长为400nm(紫光)、470nm(蓝光)的光致发光.根据测试结果分析研究SiOxNy薄膜的可能发光机理:波长为470nm处发光峰来自于硅基薄膜中中性氧空位缺陷(O2≡Si-Si≡O2),是由于氧原子配位的二价硅的单态-单态之间的跃迁所致,其发光强度随退火温度的升高而变化,800℃时最大,高于800℃时慢慢减弱;波长为400nm发光峰的发射与薄膜中的Si、O、N元素所形成的结构有关,它可能来自于Si、O、N元素结构所形成的发光中心,该峰位的强度随退火温度的升高而增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘义保	东华理工大学物理系	80	338	10.0	15.0
2	徐小华	东华理工大学物理系	15	54	4.0	7.0
3	李群	东华理工大学物理系	13	16	2.0	3.0
4	游泳	东华理工大学物理系	12	54	2.0	7.0