化学机械抛光垫沟槽形状的研究及展望

• 作者: 刘盾 姚蔚峰 胡永亮 范红伟 袁巨龙 邓乾发
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 抛光垫 沟槽形状
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 62-65
• 分类号: TG580.692
• 字数: 2539字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2010.07.022

摘要

在化学机械抛光过程中,沟槽形状是抛光垫性能的重要影响因素之一,它会直接影响抛光效果.本文介绍了化学机械抛光垫上沟槽的基本形状及其对抛光效果的影响,以及不同复合形状的抛光垫沟槽及其对抛光效果的影响,并就研究中现存的主要问题提出展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁巨龙	浙江工业大学超精密加工研究中心	116	1467	19.0	35.0
2	邓乾发	浙江工业大学超精密加工研究中心	29	152	7.0	10.0
3	姚蔚峰	浙江工业大学超精密加工研究中心	11	34	4.0	5.0
4	胡永亮	浙江工业大学超精密加工研究中心	1	8	1.0	1.0
5	范红伟	浙江工业大学超精密加工研究中心	3	28	3.0	3.0
6	刘盾	浙江工业大学超精密加工研究中心	2	14	2.0	2.0