MEMS微电子机械系统与自动化变送器的发展

卞正岗

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MEMS微电子机械系统与自动化变送器的发展

作者：

卞正岗

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智能微系统

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无线变频器

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文献信息

篇名	MEMS微电子机械系统与自动化变送器的发展
来源期刊	可编程控制器与工厂自动化(PLC FA)	学科	工学
关键词	智能微系统 LIGA加工技术压力变送器现场总线无线变频器
年，卷（期）	2010,（5）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	30,32,34
页数	3页	分类号	TP212
字数		语种	中文
DOI

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作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卞正岗		65	66	5.0	7.0

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