磁控溅射法制备的Ag纳米阵列研究

• 作者: 周小芳
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: AAO模板 磁控溅射 纳米银阵列
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 页码范围: 92-96
• 页数: 5页
• 分类号: TB3

摘要

本文采用两步阳极氧化法得到了尺寸均匀,排列规则的多孔阳极氧化铝(AAO),以AAO模板为掩膜,利用磁控溅射技术,在AAO模板上成功制备了线状Ag纳米阵列,AFM及EDX分析表明,Ag纳米线的直径与AAO的孔径相当,粗细均匀,约100 nm。根据选区AFM结果,我们讨论了AAO模板孔洞内Ag纳米线的生长机理。实验表明,借助AAO模板,通过磁控溅射的方法可以很方便的制备类似的量子点及金属纳米阵列材料。这种结合AAO模板方法的技术,扩展了纳米阵列材料的应用范围,为生产银纳米阵列材料提供了可行的制备工艺。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周小芳	长治学院电子信息与物理系	9	23	3.0	4.0