占空比对中频磁控溅射(Al,Ti)N周期性多层膜组织与性能的影响

• 作者: 孙丽丽 成浩 杨会生 汪爱英
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: LABVIEW 多层膜 中频磁控溅射 硬度 择优取向
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 47-52
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2698字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2011.06.008

摘要

采用LABVIEW软件控制N2气体流量,辅助中频磁控溅射制备不同占空比的(Al,Ti)N周期性多层膜,分别利用X射线衍射仪、场发射扫描电镜、纳米硬度仪研究了(Al,Ti)N周期性多层膜的组织结构和力学性能,研究表明:不同占空比下的薄膜只存在面心立方结构,多层膜具有一定的择优取向,择优取向随着占空比的改变而变化,当占空比为50％时,薄膜中存在(111)和(220)两种取向；多层的结构可以提高薄膜的结合强度和力学性能,获得的多层膜硬度最高为33.58 GPa,临界载荷在40 N左右,磨损情况也得到了明显的提高,主要是以粘合磨损为主;氮流量的增加有利于多层膜的性能改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙丽丽	中国科学院宁波材料与技术研究所	15	61	5.0	7.0
2	汪爱英	中国科学院宁波材料与技术研究所	33	206	9.0	13.0
3	杨会生	北京科技大学材料物理与化学系	21	118	6.0	10.0
4	成浩	中国科学院宁波材料与技术研究所	3	14	2.0	3.0