国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项2011年度工作总结暨部署大会

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 大规模集成电路 制造装备 成套工艺 科技部 部署 大专 上海市 副部长
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 行业快讯
• 页码范围: 55-55
• 分类号: TN47
• 字数: 1089字
• 语种: 中文

摘要

2011年12月22日,极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项（以下简称＂集成电路装备专项＂）工作总结暨部署大会在上海召开。专项领导小组组长、科技部副部长曹健林,专项第一行政责任人、上海市副市长沈晓明