全对称谐振式压力传感器结构设计与仿真分析

• 作者: 占瞻 吕文龙 孙道恒 徐布磊 杜晓辉 江毅文 王凌云
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式 压力传感器 灵敏度 品质因子
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 353-359
• 分类号: TP212
• 字数: 4635字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种基于侧向驱动的全对称谐振式压力传感器结构.谐振结构采用侧向梳齿电容驱动,既保证了驱动力的线性特性,又由于本身的空气阻尼为滑膜阻尼,可以取得较高的品质因子.另外,设计的差分电容结构能进一步提高器件的检测灵敏度.经过ANSYS 10.0的仿真分析总结出谐振结构固有频率受结构参数影响的规律,确定了量程为0～550 kPa的谐振式压力传感器具体尺寸,其灵敏度达到了22.602 Hz/kPa；分析了温度对谐振结构固有频率的影响,得到-20～60℃下的热灵敏度温度系数为-1.8233 Hz/℃,为后续的温度补偿提供依据；最后通过分析谐振结构的频域响应特性,最终确定了传感器的频域特性曲线以及不同阻尼比下传感器的品质因子.为谐振式压力传感器真空封装的真空度选择提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕文龙	厦门大学物理与机电工程学院	8	63	5.0	7.0
2	王凌云	厦门大学物理与机电工程学院	32	191	7.0	12.0
3	孙道恒	厦门大学物理与机电工程学院	81	618	14.0	21.0
4	杜晓辉	厦门大学物理与机电工程学院	8	34	3.0	5.0
5	江毅文	厦门大学物理与机电工程学院	2	79	2.0	2.0
6	占瞻	厦门大学物理与机电工程学院	3	9	2.0	3.0
7	徐布磊	厦门大学物理与机电工程学院	1	7	1.0	1.0