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摘要:
采用超晶格方法,利用射频磁控共溅射及在N2气氛中退火技术,制备了多层Ge纳米晶(Ge-ncs)镶嵌Si基复合薄膜(Ge-ncs+SiO2/GeO2).同时采用椭圆偏振光谱法,研究了Ge-ncs的光学性质,并用sp3紧束缚理论模式,解释了Ge-ncs带隙宽化现象.结果表明:用超晶格方法制备的多层Ge-ncs具有密度高、尺寸和位置分布均匀的优点,纳米晶平均尺寸为9.8nm.复合薄膜(Ge-ncs+SiO2/GeO2)具有正常色散的特性,且在1 340nm处具有较强烈的吸收特性;Ge-ncs的光学带隙为0.82eV,与块体Ge材料相比,Ge-ncs吸收谱显示出0.16eV的带隙宽化.这种现象主要是由Ge-ncs中的量子限制效应导致的,采用sp3紧束缚理论模式可得到很好解释.
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文献信息
篇名 多层Ge纳米晶镶嵌Si基薄膜制备与光学特性
来源期刊 陕西师范大学学报:自然科学版 学科 教育
关键词 多层Ge纳米晶 磁控溅射 椭圆偏振光谱法 光学特性 量子限域效应
年,卷(期) 2012,(5) 所属期刊栏目 物理学
研究方向 页码范围 23-26
页数 4页 分类号 G633.7
字数 2812字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李宁 陕西师范大学物理学与信息技术学院 62 209 7.0 12.0
2 张君善 陕西师范大学物理学与信息技术学院 4 4 1.0 1.0
3 高斐 陕西师范大学物理学与信息技术学院 26 39 3.0 5.0
4 刘晓静 陕西师范大学物理学与信息技术学院 14 23 2.0 4.0
5 宋美周 陕西师范大学物理学与信息技术学院 5 6 2.0 2.0
6 赵卓斋 6 4 1.0 2.0
7 孙文超 西北工业大学软件与微电子学院 1 1 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
多层Ge纳米晶
磁控溅射
椭圆偏振光谱法
光学特性
量子限域效应
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
陕西师范大学学报(自然科学版)
双月刊
1672-4291
61-1071/N
大16开
陕西省西安市长安南路
52-109
1960
chi
出版文献量(篇)
3025
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7
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18459
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