国产苏州瑞红RZJ304光刻正胶应用工艺研究

• 作者: 冯婷婷 吴海涛 李娟 陈相逢
• 来源期刊: 产业与科技论坛
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻工艺 正胶 叉指电极
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 科技创新
• 页码范围: 76-77
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5641.2012.04.039

摘要

本文以国产瑞红RZJ304正胶为载体,基于光刻工艺环节中各工艺参数要求,以线宽1、2、5微米的叉指电极为标准,重点研究各工艺参数如曝光强度、曝光时间以及显影时间等关键因素对光刻效果的影响程度;以此表征该类型光刻胶良好的光刻效果,为后续实际器件加工与应用奠定基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴海涛	济南大学材料科学与工程学院	25	194	10.0	13.0
2	李娟	济南大学材料科学与工程学院	3	26	2.0	3.0
3	冯婷婷	济南大学材料科学与工程学院	3	2	1.0	1.0
4	陈相逢	济南大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0