掺铝氧化锌陶瓷靶材的制备及其薄膜的光学性能

• 作者: 傅刚 刘志宇 杨小妮 翟旺建
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: AZO靶材 烧结温度 直流磁控溅射 薄膜
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 31-34
• 分类号: TM24
• 字数: 2786字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2012.03.008

摘要

以Al(NO3)3 ·9H2O和ZnO粉体为原料,采用常压烧结方法制备了高致密度和高导电性的ZnO∶Al(AZO)陶瓷靶材.研究了烧结温度对AZO靶材微观结构、相对密度和电性能的影响.当Al和Zn的摩尔比为3∶100,烧结温度为1 400℃时,所制AZO靶材的致密度达96％,电阻率为2.5×10-2Ω ·cm.以烧结温度为1400℃的AZO陶瓷靶为靶材并通过直流磁控溅射在玻璃基片上制备出了高度c轴择优取向的AZO薄膜,其可见光透过率为90％,禁带宽度为3.63 eV,电阻率为1.7×10-3 Q·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅刚	广州大学物理与电子工程学院	53	174	8.0	11.0
2	刘志宇	广州大学物理与电子工程学院	20	30	4.0	4.0
3	翟旺建	广州大学物理与电子工程学院	2	9	2.0	2.0
4	杨小妮	广州大学物理与电子工程学院	2	9	2.0	2.0