基于激光干涉法的MEMS高g值加速度计准静态校准

• 作者: 刘爱莉 张茹开 王永芳 范锦彪
• 来源期刊: 伺服控制
• 学科: 工学
• 关键词: 激光多普勒干涉仪高g值加速度计准静态校准标定公式不确定度
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: TP212

摘要

介绍了采用Hopkinson杆冲击装置产生激励加速度脉冲，利用激光多普勒干涉仪对激励信号进行测量，实现对MEMS高g值加速度计进行准静态校准的原理。给出了传感器灵敏度系数的两种标定公式，并对校准系统中影响激励加速度脉冲幅值测量误差的主要因素进行了分析。通过对一种压阻式高g值加速度计的两种灵敏度标定结果和测量不确定度的分析，比较了两种标定公式的优缺点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范锦彪	中北大学电子测试技术国家重点实验室	112	729	15.0	22.0
2	刘爱莉	中北大学电子测试技术国家重点实验室	4	11	2.0	3.0
3	张茹开	中北大学电子测试技术国家重点实验室	6	11	2.0	3.0
4	王永芳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	10	20	3.0	4.0