LED蓝宝石图形化衬底的研究进展及发展趋势

• 作者: 平志韩 张钦亮 王谟 苏静洪 金志杰 雍春娥
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 图形化蓝宝石衬底 氮化镓(GaN) LED 刻蚀
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 10-16
• 页数: 7页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 4653字
• 语种: 中文

摘要

图形化蓝宝石衬底作为GaN基LED照明外延衬底材料，由于其能降低GaN外延薄膜的线位错密度和提高LED的光萃取效率的显著性能在近几年来引起国内外许多科研机构和厂商的广泛兴趣。从衬底的制备工艺、图形尺寸角度出发，综述了图形化蓝宝石衬底GaN基LED的研究进展，并对其未来在大功率照明市场的应用进行了展望。