应用材料公司推出先进化学气相淀积薄膜技术

• 来源期刊: 中国集成电路
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体增强化学气相淀积 应用材料公司 薄膜技术 高分辨率 PECVD 金属氧化物 平板电脑 绝缘薄膜
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 业界要闻
• 页码范围: 5-6
• 页数: 2页
• 分类号: TN305
• 字数: 1232字
• 语种: 中文

摘要

在日前举办的SEMICONChina上，应用材料公司向业界展示了全新等离子体增强化学气相淀积（PECVD）薄膜技术，用于制造适用于下一代平板电脑和电视的更高性能高分辨率显示。这些源自应用材料公司业界领先的AKT—PECVD系统的先进绝缘薄膜，使得基于金属氧化物的晶体管的应用成为可能，制造出尺寸更小、开关速度更快的像素，从而帮助客户推出更受消费者欢迎的高分辨率显示屏。