投影光刻中非对称型相位光栅对准信号及对准误差计算模型

• 作者: 戈亚萍
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 相位光栅 非对称型对准标记 衍射效率 对准信号 对准误差
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 光刻技术与设备
• 页码范围: 19-23
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.05.006

摘要

在半导体投影光刻机中,对因工艺处理产生的非对称型相位光栅对准标记作了详细分析,提出了关于衍射效率、对准信号及对准误差的计算模型,并着重分析了CMP型对准标记和金属淀积型标记的相应特点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戈亚萍		1	0	0.0	0.0